產品名?。?氧氣

CAS ： 7782-44-7

英文名 Oxygen

液氧 - 用途

高純氧氣體主要用于半導體器件的熱氧化、擴散、化學氣相沉積及等離子蝕刻等工藝，還可用于光導纖維、彩色顯像管制造并作標準氣、校正氣和零點氣等。作為氧化源與產生高純水的反應劑。對于MOS場效應器件，氧化層必須相當致密，采用高純氧氣進行干法氧化，其氧化層結構致密，正電荷少，耐壓高，能滿足生產需要。與四氟化碳混合，可用于等離子刻蝕。

液氧 - 安全性

助燃壓縮氣體，無毒。但暴露在高濃氧中，對肺和中樞神經有不良影響。所有可燃物質、特別是油和油脂，不得與高濃度氧接觸。對所有可能的著火源，都必須加以封閉或撤離。置于陰涼處，嚴禁與酸、堿、油脂、易燃易爆物品及高溫熱源、電火花接近，并避免撞擊。