分子式:BF₃

分子量：67.80

GAS號：7637-07-2

熔點：-127℃

沸點：-100℃

閃點：4℃

水溶性：溶于水

產品介紹 Product introduction 

        常溫常壓下三氯化硼11（B11Cl3）為無色發煙氣體，可燃，有刺激性、酸性氣味，遇水分解生成氯化氫和硼酸，并放出大量熱量，在濕空氣中因水解而生成煙霧，在醇中分解為鹽酸和硼酸酯。三氯化硼11反應能力較強，能形成多種配位化合物，三氯化硼加熱能和玻璃、陶瓷起反應，也能和許多有機物反應形成各種有機硼化合物。高純三氯化硼11主要用于（硅）半導體器件制造工藝中的擴散摻雜，在高溫下，經過分解生成硼雜質向硅中擴散，形成P型半導體，也可用于Al、MoSi2、TaSi2、TiSi2、WSi等材料的干法蝕刻。

產品指標 Quality specification

產品用途 Application

  高純三氯化硼11主要用于半導體器件和集成電路制造中擴散摻雜、離子注入、干法蝕刻等工藝。三氯化硼11也可用以制造高純硼、有機合成用催化劑、硅酸鹽分解時的助熔劑，在合金精制中作為除氧劑、氮化物和碳化物的添加劑。